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單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐裝料量(單臺機產能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度) 5設備制造工藝控制保證 6自動化控制程度 7設備主要關鍵部件的配置等 。單晶爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的