直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場,石墨熱場系統(tǒng)的作用是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在必定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。
石墨熱場一般包含(石墨材料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。
單晶爐石墨熱場簡略的說就是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。常見的是18寸、22寸和24寸的石墨熱場。一種盛行的石墨熱場職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)劃規(guī)劃方案是選用石墨材料制造熱場隔熱部件。標(biāo)準(zhǔn)的石墨保溫材料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維材料組成,在接近熱場中心的內(nèi)表面往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復(fù)合材料薄板用來提高熱反射率和防止高壓氣流的沖刷。
因?yàn)榈褥o壓石墨熱場材料自身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱材料之間不需求預(yù)留額定的空間。石墨材料具有優(yōu)異的隔熱性能,本錢一般較金屬屏低,而且十分易于使用。就制造本錢,耐用性和可維護(hù)性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有必定的優(yōu)勢。經(jīng)過生產(chǎn)實(shí)踐,金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。
石墨熱場廠家用石墨材料制造石墨熱場的隔熱部件,實(shí)踐證明,雖然在釬焊工藝中會有許多焊料沉積在石墨隔熱材料的表面,但是卻不會產(chǎn)生熔解的焊料與石墨隔熱材料的熔合現(xiàn)象。雖然有人會質(zhì)疑,以為石墨材料比金屬材料更簡略吸收水分,水分對釬焊工藝進(jìn)程危害很大,但是,實(shí)踐證明熱場循環(huán)往復(fù)的升溫與降溫會很好地排除石墨隔熱材猜中的水分。
石墨熱場的特性如下:
一.單晶硅石墨熱場,是一個(gè)及物理,化學(xué),幾何歸納理論為一體,專門研究人員經(jīng)過多年重復(fù)考證。多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)擬定。
二.熱場選用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤,保溫罩,上下蓋。選用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器,坩堝,導(dǎo)流筒,托桿,鍋托等,保證了石墨坩堝的強(qiáng)度及純度。
三.熱場是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其質(zhì)料好壞直接影響熱場壽命。