隨著社會經(jīng)濟的發(fā)展,很多單晶硅廠家在石墨熱場的使用上都比較熟練。 有兩個原因:
正面,石墨氈保溫效果好,厚度達到100mm,有效保證了徑向梯度溫度可能很小的情況。
一、長熱的原因是石墨坩堝的厚度可以達到250mm,而上、中、下保溫桶的口徑可以足夠大,有足夠的縱向散熱。 眾所周知,石墨坩堝在使用過程中存在的問題會減少石墨坩堝的使用時間,也會增加廠家自身的成本。 如果您有制造石墨坩堝和熱場加工零件的經(jīng)驗,我們來詳細談?wù)勈珶帷?現(xiàn)場生產(chǎn)中的常見問題,我們應(yīng)該如何處理。
1.特殊的抗熱震性。 石墨的熱膨脹是各向異性的,所以微觀膨脹系數(shù)不大。 在溫度突然變化的情況下,石墨的體積變化不大。 導熱性好,因此石墨的抗熱震性非常好。 如上兩點所述,石墨熱場零件應(yīng)能在高溫下長期穩(wěn)定工作。
??? 正常情況下,與保溫罩、加熱器等其他石墨設(shè)備相比,翻板坩堝的材質(zhì)相同、廠家相同、工作環(huán)境相同。 為什么使用壽命遠低于保溫罩和加熱器? 三葉坩堝開裂的主要原因來自石英坩堝。 1、由于熔融硅的密度大于固態(tài)硅,在冷卻過程中,鍋底料會破壞石英坩堝,將石英坩堝裝在三葉坩堝上。 , 當石英坩堝劈裂產(chǎn)生的應(yīng)力大于三葉坩堝所承受的應(yīng)力時,三葉坩堝就會開裂,這就是為什么坩堝底料過多會使三葉坩堝爆裂的原因 . 2、加熱時間過長,石英坩堝質(zhì)量不夠好,原料PH值不符合要求,會導致漏硅、滲硅。 就是使三瓣鍋相互粘連,清爐時可能會分別形成裂紋。 3、在加熱過程中,只有三葉坩堝的熱源來自兩個方面,一是加熱器的輻射,二是石英坩堝的傳導,導致三葉坩堝在 受熱不均勻,受熱時向一定方向膨脹。 大,向其他方向收縮,然后導致三瓣鍋開裂。
熱場的組成部分,如加熱器、三葉坩堝、石墨支架、隔熱罩等,均由石墨制成。 在生產(chǎn)過程中,經(jīng)常會遇到加熱設(shè)備損壞的現(xiàn)象,那么石墨設(shè)備損壞的原因是什么,應(yīng)該采用什么方法來延長石墨設(shè)備的使用壽命呢? 石墨設(shè)備的損壞主要是人為和變質(zhì)造成的。 在人的方面,只要加強管理,增強員工的防備意識,就能將損失降到更低的水平。 這里的主要討論是惡化。 首先我們來了解一下石墨的相關(guān)特性,
2、耐高溫,石墨熔點高,真空中3850度,低壓下溫度2200度。 與普通材料不同的是,當溫度升高時,石墨不僅不會軟化,還會增加強度。 在2500℃溫度升高時,石墨的抗拉強度增加一倍。