- 產(chǎn)品名稱(chēng)：
- 推板爐燒結(jié)用石墨載具
- 產(chǎn)品類(lèi)型：
- 石墨盤(pán)
- 產(chǎn)品品牌：
- 捷誠(chéng)
- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
- 推板爐燒結(jié)用石墨載具
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捷誠(chéng)石墨0769-89392518更多信息資訊掃描二維碼咨詢(xún)了解
產(chǎn)品詳情
推板爐燒結(jié)銅管石墨盤(pán)，銅管燒結(jié)石墨盤(pán)，原材料特點(diǎn)：電子半導(dǎo)體用碳-石墨，純度高，顆粒細(xì)，導(dǎo)電導(dǎo)熱性能良好，高密度，耐腐蝕、耐熱沖擊，熱穩(wěn)定性好，機(jī)械強(qiáng)度高，滲透性低，抗氧化性好，適用于生產(chǎn)各種半導(dǎo)體模具和大型電子管陽(yáng)極。熱管熱板均溫?zé)岚?雙層銅管熱管燒結(jié)石墨盤(pán)，銅行業(yè)用石墨模具系列，超硬材料制品、金剛石聚晶及金剛石工具燒結(jié)用石墨模具系列
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石墨盤(pán)根用碳纖維絲與石墨線等材料組合織造，并用鎳絲增強(qiáng)盤(pán)根的機(jī)械強(qiáng)度，添加石墨油潤(rùn)滑劑。該產(chǎn)品有高碳盤(pán)根的特性和柔性石墨盤(pán)根的出色功用，具有自潤(rùn)滑、高強(qiáng)度、耐高低溫、耐腐蝕等優(yōu)異功用。廣泛適用于高溫高壓閥門(mén)密封。發(fā)布時(shí)間：2023-08-18 -
在外延成長(zhǎng)領(lǐng)域，高純石墨盤(pán)是必不可少的。它在外延成長(zhǎng)中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用。現(xiàn)在，主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤(pán)在結(jié)構(gòu)上基本相同，均采用在石墨盤(pán)基座上規(guī)劃一個(gè)晶圓形狀的淺凹槽的方式來(lái)裝載晶圓。這種規(guī)劃在成長(zhǎng)小尺度的晶圓(比如說(shuō)4寸半導(dǎo)體晶圓)來(lái)說(shuō)是合理的，保護(hù)起來(lái)也很方便。但對(duì)于成長(zhǎng)大尺度的外延片，基于下降晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤(pán)甩出的風(fēng)險(xiǎn)，晶圓槽底部相對(duì)于石墨盤(pán)頂部的高度比小尺度石墨盤(pán)大一些。發(fā)布時(shí)間：2023-08-18 -
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