国内自拍av,亚洲AV无码专区国产乱码电影,一二三四国产视频,色综合久久精品

東莞市捷誠(chéng)石墨制品有限公司 歡迎您
石墨盤(pán)設(shè)計(jì)會(huì)遇到什么問(wèn)題?
jcshimo   |   2023-08-18 16:04:49

       在外延成長(zhǎng)領(lǐng)域,高純石墨盤(pán)是必不可少的。它在外延成長(zhǎng)中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用?,F(xiàn)在,主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤(pán)在結(jié)構(gòu)上基本相同,均采用在石墨盤(pán)基座上規(guī)劃一個(gè)晶圓形狀的淺凹槽的方式來(lái)裝載晶圓。這種規(guī)劃在成長(zhǎng)小尺度的晶圓(比如說(shuō)4寸半導(dǎo)體晶圓)來(lái)說(shuō)是合理的,保護(hù)起來(lái)也很方便。但對(duì)于成長(zhǎng)大尺度的外延片,基于下降晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤(pán)甩出的風(fēng)險(xiǎn),晶圓槽底部相對(duì)于石墨盤(pán)頂部的高度比小尺度石墨盤(pán)大一些。
這種規(guī)劃導(dǎo)致了成長(zhǎng)大尺度外延片尤其是厚膜外延片出現(xiàn)了以下幾個(gè)問(wèn)題:
        1.由于石墨盤(pán)與晶圓接觸區(qū)域較多,在成長(zhǎng)厚膜外延片時(shí),沉積的外延層會(huì)添加石墨盤(pán)與半導(dǎo)體晶圓的粘接,使得成長(zhǎng)完成后將外延片從石墨盤(pán)中無(wú)損傷取出較為困難,乃至可能導(dǎo)致裂片。
        2.因晶圓邊際處較高的臺(tái)階使得該區(qū)域存在氣體湍流,容易滯留較多的成長(zhǎng)氣體,然后使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差。
        3.因外延爐一般采用射頻感應(yīng)加熱,熱量傳遞的方向是沿著石墨盤(pán)徑向從邊際到中心,使得石墨盤(pán)邊際的溫度高于中心區(qū)域的溫度,這在大尺度外延成長(zhǎng)中尤為杰出。

想要了解更多石墨盤(pán)內(nèi)容,可聯(lián)系從事石墨盤(pán)多年,產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn)豐富的滑小姐:13500098659

捷誠(chéng)精選
推薦品類
再定義石墨品味
捷誠(chéng)石墨,締造中國(guó)好石墨
地址:東莞市大朗鎮(zhèn)仙村仙江路117號(hào)A5棟
服務(wù)熱線:0769-89392518
手機(jī):135-4936-5158(微信同號(hào))
国产精品老熟女色视频| 久久无码片| 免费看国产曰批40分钟| 天堂网在线观看| 精品无码一区二区三区亚洲桃色| 美女被操黄色网站| 国产中文AV| 啪啪无码视频| 日韩精品无码波多野结衣| 精品视频在线播放| 黄片免费观看视频| 一本大道AV无码一区二区三区 | 黑人巨大人精品欧美三区| 精品国产99久久久久久| 久久日产一线二线三线| 亚洲无码s| 精品成人午夜免费看| 成人污网站| 香蕉A视频| 亚洲中文字幕无码久久2019| 青娱乐亚洲视频| 精品国产乱码久久久久久婷婷| 国产性爱91| 美女免费视频一区二区三区| 一本色道久久亚洲综合精品蜜桃| 成人午夜精品无码区久久蜜臀| 国产av无码专区亚洲av果冻传媒| 国产乱xxxx国语对白| av电影在线网站| 国产精品国产三级国产普通话三级| 日本免费看| 熟妇大屁股视频一区二区三区免费| 麻豆国产尤物av尤物在线观看| 日韩亚洲中文字幕| 无码av一本永久免费专区| 东京热精品视频| 日韩欧美三级片网站| 亚洲成人电影一区二区三区| 国产精品一区不卡| 色综合久久久无码中文字幕波多| 小蜜被两老头吸奶头在线观看|