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1.石墨制品太陽能電池應(yīng)用市場概述

多晶硅熱場加熱器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體和光伏行業(yè)的上述兩類石墨制品在幾年前主要是從國外進(jìn)口(或由mainland China外資企業(yè)提供)。但由于中國石墨行業(yè)、半導(dǎo)體材料行業(yè)和電子工業(yè)設(shè)備行業(yè)的共同努力，中國生產(chǎn)的這兩類石墨配件(深圳市金詩科技有限公司)無論是制造技術(shù)還是應(yīng)用技術(shù)都有了很大的進(jìn)步，市場格局也發(fā)生了很大的變化。這也為中國石墨行業(yè)在這一領(lǐng)域開拓新的市場提供了新的機(jī)遇。但同時也應(yīng)該看到，在我國大尺寸、高純度各向同性石墨市場快速增長的同時，我國在這方面的制造技術(shù)還有一些方面不能適應(yīng)，技術(shù)與國外先進(jìn)水平還有很大差距。石墨制品作為微電子和光伏產(chǎn)業(yè)重要的基礎(chǔ)裝備材料，需要我國持續(xù)的技術(shù)進(jìn)步。加強(qiáng)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光伏電池硅制造業(yè)的合作，進(jìn)一步投資發(fā)展其配套的高檔石墨制品是一項勢在必行的重要任務(wù)。

在生產(chǎn)多晶硅錠的設(shè)備中，許多部件是石墨材料。特別是高純石墨、鑄錠爐加熱器所用的加熱材料以及所用的高純碳?xì)纸^緣材料，是目前多晶硅鑄錠設(shè)備不可缺少的重要支撐材料。

    由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高(1600℃以上)，要求其加熱材料不能與硅材料發(fā)生反應(yīng)和污染硅材料，因此可以在真空和惰性氣氛下長期使用。滿足使用條件的加熱器有鎢、鉬、非金屬石墨等。鎢和鉬價格昂貴，加工困難，而石墨來源廣泛，可以加工成各種形狀。此外，石墨具有熱慣性小、升溫快、耐高溫、抗熱震性好、輻射面積大、加熱效率高、基本性能穩(wěn)定等特點。正因為如此，石墨已經(jīng)成為鑄錠爐加熱器的首選加熱材料。鑄錠爐加熱器對隔熱材料有嚴(yán)格的要求。必須是耐高溫、低密度、低導(dǎo)熱、低蓄熱、隔熱效果好、低氣體釋放、重量輕、低膨脹系數(shù)的材料。因此，在眾多耐火隔熱材料中，高純碳?xì)质亲罾硐氲摹?/p>

1.1應(yīng)用市場發(fā)展和擴(kuò)大的過程

    半導(dǎo)體的發(fā)展離不開石墨材料在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用。在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純石墨材料廣泛應(yīng)用于直拉單晶爐的加熱系統(tǒng)中。也用作半導(dǎo)體硅片加工(包括區(qū)熔、外延、輪廓加工等)中的輔助工具和部件。);是半導(dǎo)體硅片多晶硅材料生產(chǎn)中的輔助工具和部件。電子工程用石墨制品，首先是實現(xiàn)其在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。進(jìn)入21世紀(jì)，光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，太陽能電池用多晶硅錠材料的產(chǎn)量和市場都有了突飛猛進(jìn)的增長，這也為石墨制品在光伏產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供了具有廣闊發(fā)展前景的新市場。太陽能電池硅片的重要原料多晶硅錠開始在其生產(chǎn)設(shè)備鑄錠爐中大量使用高純優(yōu)質(zhì)石墨材料。

1.2石墨制品半導(dǎo)體應(yīng)用市場概述

    直拉爐用石墨零件是一種易耗件，由各種高純石墨制成。如石墨坩堝等石墨部件采用高純細(xì)晶石墨；石墨加熱器采用高純各向同性石墨；隔熱罩和石墨罩采用高純度中顆粒結(jié)構(gòu)的石墨。