石墨舟的使用和制造情況介紹
jcadmin
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2020-09-03 15:02:35
石墨舟的使用和制造情況介紹
石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式,即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后,石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出,自動(dòng)門關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì),在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào),再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān),所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。
使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。
石墨舟及制造方法,在石墨舟毛坯料中浸漬有樹脂,石墨舟毛坯經(jīng)過(guò)固化處理、加工、高溫處理使樹脂充分炭化,在石墨舟表面形成一層薄膜,包括以下步驟:先把石墨原材料放置在真空爐內(nèi)高溫純化、形成石墨舟毛坯料;石墨舟毛坯料放入調(diào)配的樹脂中浸漬;石墨舟毛坯料固化處理形成坯體;固化后的坯體加工成成品;加工完的成品高溫處理,樹脂炭化,在成品表面形成薄膜;能夠在石墨舟片表面形成一層均勻的抗氧化薄膜使用壽命長(zhǎng),降低了使用和維護(hù)成本,具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
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